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看银泰导轨的技术发展

时间:   来源: 创威达   浏览量: 418 次

近年来数控技术的迅速发展,刺激了银泰导轨市场需求量的增加,但同时对其的精度,运行速度,行程以及可靠性等提出了更严格的要求。
 
  高精度、高速度、大行程对控制系统能够实现实时控制也提出了很大的挑战。在工作过程中,为了保证精度,对工件台的任意位置都需要实时控制。当精度越高、行程越大、速度越高时,控制系统需要处理的数据量和速度也随着增加。
 
  如果工件台的驱动方法是采用直接驱动而不是间接驱动,由于减少了传动链长度和传动环节中的误差传递,从而使工件台的精度、速度以及加速度的性能都得到提高。因此如果银泰导轨能够及时引用新材料、新技术的话,能在很大程度上满足工件台发展的需要。
 
  1、测量技术
  在银泰导轨中所采用的大行程测量手段主要有光栅测量和激光干涉仪测量。光栅测量是通过记录静光栅尺和动光栅尺相互移动产生的莫尔干涉条纹数来测量位移的。目前光栅测量的分辨率可达到纳米量级,测量精度为t 0.01 5m,测量范围为100 mrno激光干涉仪以激光在真空中的波长为长度基准,测量精度高,范围大,可实现非接触测量,测量的最大速度比光栅测量的速度大,在安装时容易消除“阿贝”误差等,这些优点使它更适合于高精度测量的场合。目前国外先进的光刻机都采用商品化的双频激光干涉仪。
 
  2、材料
  工件台中所用的材料直接影响着工件台的性能,如,应尽量采用低密度、高刚度的材料,这样可以减轻系统的重量,提高整个系统的刚度,从而提高工件台的动态性能。为此,通常采用铝合金、碳化硅等密度小、杨氏模量大的材料;为了减少温度、振动等外界环境对工件台精度的影响,对工件台所在的环境要采取严格的温度控制和隔振措施;在工件台的测量系统中常用殷钢作为基座,采用零膨胀玻璃作为基准反射镜材料。近年来研究人员利用Zerodur(微晶玻璃材料的一种)的低膨胀系数和良好的加工性能,加工制作工件台中的测量部件和其他重要零件。
 
  另外,目前激光干涉仪的发展已经出现了以下一些特点:
  ① 高速:可以测量的最大允许速度在不断提高。
  ② 测量电路集成化程度提高:集成化程度的提高使电路处理信号的速度随之提高,从而使系统的响应时间可以达到纳秒级,使之满足了实时测量的需求。
  ③ 光纤的引入:在干涉仪中利用光纤来传输激光,激光头可以远距离安装,能够消除潜在的热影响;同时减少激光受外界温度、湿度、大气压变化的影响,从而提高测量精度。
  ④ 高分辨率:当前双频激光干涉仪可测量的最小分辨率己达到了0.15 nm。
 
  银泰不断研制出高精度、高速度、大行程的的导轨产品来满足机床的要求。展望未来,应用在机床上的银泰导轨将在材料、测量技术、驱动技术等方面有较大的进步,使工件台向着高精度、高速度、大行程的方向发展。
 

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